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859eee33a8
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435
data/transport/misc_tran.dat
Normal file
435
data/transport/misc_tran.dat
Normal file
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@ -0,0 +1,435 @@
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!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
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! misc_tran.dat
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!
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! Miscellaneous collection of transport parameters
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!
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! $Author$
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! $Date$
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! $Revision$
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!
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!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
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!
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!
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!------------------------------------------------------------------------------
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! epsilon Sigma Dipole Polarizability Rotational
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! Config ------ (Angst) Moment Relaxation
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||||
! Param k
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||||
!------------------------------------------------------------------------------
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||||
!
|
||||
Ar 0 136.500 3.330 0.000 0.000 0.000
|
||||
!
|
||||
C 0 71.400 3.298 0.000 0.000 0.000 !(*)
|
||||
C2 1 97.530 3.621 0.000 1.760 4.000
|
||||
C2O 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! *
|
||||
CN2 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
C2H 1 209.000 4.100 0.000 0.000 2.500
|
||||
C2H2 1 209.000 4.100 0.000 0.000 2.500
|
||||
C2H2OH 2 224.700 4.162 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
C2H3 2 209.000 4.100 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
C2H4 2 280.800 3.971 0.000 0.000 1.500
|
||||
C2H5 2 252.300 4.302 0.000 0.000 1.500
|
||||
C2H6 2 252.300 4.302 0.000 0.000 1.500
|
||||
C2N 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
C2N2 1 349.000 4.361 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
C3H2 2 209.000 4.100 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
C3H3 1 252.000 4.760 0.000 0.000 1.000
|
||||
C3H4 1 252.000 4.760 0.000 0.000 1.000
|
||||
C3H4P 1 252.000 4.760 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
C3H6 2 298.900 4.678 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
C3H7 2 266.800 4.982 0.000 0.000 1.000
|
||||
C4H6 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
I*C3H7 2 266.800 4.982 0.000 0.000 1.000
|
||||
N*C3H7 2 266.800 4.982 0.000 0.000 1.000
|
||||
C3H8 2 237.100 5.118 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
C4H 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C4H2 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C4H2OH 2 224.700 4.162 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
C4H3 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C4H4 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! Current nomenculature for all of those butene isomers
|
||||
C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
n1-C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
c2-C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
t2-C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
i-C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
cy-C4H8 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
S*C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
I*C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! Current nomenclature for butyl radical species
|
||||
!
|
||||
n-C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
s-C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
i-C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
t-C4H9 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
N*C4H10 2 531.400 4.687 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
I*C4H10 2 330.100 5.278 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
n-C4H10 2 531.400 4.687 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
i-C4H10 2 330.100 5.278 0.000 0.000 1.000 ! sve
|
||||
!
|
||||
C5H2 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C5H3 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C6H2 1 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000
|
||||
C6H5 2 412.300 5.349 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
C6H5(L) 2 412.300 5.349 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
C6H5O 2 450.000 5.500 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
C5H5OH 2 450.000 5.500 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
C6H6 2 412.300 5.349 0.000 0.000 1.000 ! SVE
|
||||
C6H7 2 412.300 5.349 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH 1 80.000 2.750 0.000 0.000 0.000
|
||||
CH2 1 144.000 3.800 0.000 0.000 0.000
|
||||
CH2(S) 1 144.000 3.800 0.000 0.000 0.000
|
||||
CH2(SING) 1 144.000 3.800 0.000 0.000 0.000
|
||||
CH2CHCCH 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH2CHCCH2 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH2CHCH2 2 260.000 4.850 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH2CHCHCH 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH2CHCHCH2 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH2CO 2 436.000 3.970 0.000 0.000 2.000
|
||||
CH2O 2 498.000 3.590 0.000 0.000 2.000
|
||||
CH3 1 144.000 3.800 0.000 0.000 0.000
|
||||
CH3CC 2 252.000 4.760 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CCCH2 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CCCH3 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CCH2 2 260.000 4.850 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CHCH 2 260.000 4.850 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CH2CCH 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
CH3CHO 2 436.000 3.970 0.000 0.000 2.000
|
||||
CH3CO 2 436.000 3.970 0.000 0.000 2.000
|
||||
CH3O 2 417.000 3.690 1.700 0.000 2.000
|
||||
CH3OH 2 481.800 3.626 0.000 0.000 1.000 ! SVE
|
||||
CH4 2 141.400 3.746 0.000 2.600 13.000
|
||||
CH4O 2 417.000 3.690 1.700 0.000 2.000
|
||||
CN 1 75.000 3.856 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
CNC 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
CNN 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
CO 1 98.100 3.650 0.000 1.950 1.800
|
||||
CO2 1 244.000 3.763 0.000 2.650 2.100
|
||||
!
|
||||
CL 0 130.8 3.613 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
Cl- 0 130.8 3.613 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
!
|
||||
E 0 850. 425. 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
!
|
||||
F 0 80.000 2.750 0.000 0.000 0.000
|
||||
F2 1 125.700 3.301 0.000 1.600 3.800
|
||||
!
|
||||
H 0 145.000 2.050 0.000 0.000 0.000
|
||||
H2C4O 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
H2 1 38.000 2.920 0.000 0.790 280.000
|
||||
H2CCCCH 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
H2CCCCH2 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
H2CCCH 2 252.000 4.760 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
H2CN 1 569.000 3.630 0.000 0.000 1.000 ! os/jm
|
||||
H2NO 2 116.700 3.492 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
H2O 2 572.400 2.605 1.844 0.000 4.000
|
||||
H2O2 2 107.400 3.458 0.000 0.000 3.800
|
||||
H2S 2 301.000 3.600 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
HC2N2 1 349.000 4.361 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
HCCHCCH 2 357.000 5.180 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
HCCO 2 150.000 2.500 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
HCCOH 2 436.000 3.970 0.000 0.000 2.000
|
||||
HCN 1 569.000 3.630 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
HCNO 2 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
HCO 2 498.000 3.590 0.000 0.000 0.000
|
||||
HCO+ 1 498.000 3.590 0.000 0.000 0.000
|
||||
HCl 1 344.7 3.339 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
HF 1 330.000 3.148 1.920 2.460 1.000 ! sv/mec
|
||||
HF0 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF1 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF2 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF3 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF4 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF5 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF6 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF7 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
HF8 1 352.000 2.490 1.730 0.000 5.000
|
||||
!
|
||||
HOCN 2 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 !(JAM)
|
||||
HNCO 2 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
HNNO 2 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
HNO 2 116.700 3.492 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
HNOH 2 116.700 3.492 0.000 0.000 1.000 ! JAM
|
||||
HO2 2 107.400 3.458 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
HSO2 2 252.000 4.290 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
He 0 10.200 2.576 0.000 0.000 0.000 !(*)
|
||||
HE 0 10.200 2.576 0.000 0.000 0.000 !(*)
|
||||
K 0 850. 4.25 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
KCl 1 1989. 4.186 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
KO 1 383.0 3.812 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
KOH 2 1213. 4.52 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
KO2 2 1213. 4.69 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
KH 1 93.3 3.542 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
K+ 0 850. 4.25 0.000 0.000 1.000 !(singh)
|
||||
N 0 71.400 3.298 0.000 0.000 0.000 !(*)
|
||||
N2 1 97.530 3.621 0.000 1.760 4.000
|
||||
N2H2 2 71.400 3.798 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
N2H3 2 200.000 3.900 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
N2H4 2 205.000 4.230 0.000 4.260 1.500
|
||||
N2O 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
NCN 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
NCO 1 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
NH 1 80.000 2.650 0.000 0.000 4.000
|
||||
NH2 2 80.000 2.650 0.000 2.260 4.000
|
||||
NH3 2 481.000 2.920 1.470 0.000 10.000
|
||||
NNH 2 71.400 3.798 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
NO 1 97.530 3.621 0.000 1.760 4.000
|
||||
NCNO 2 232.400 3.828 0.000 0.000 1.000 ! OIS
|
||||
NO2 2 200.000 3.500 0.000 0.000 1.000 !(*)
|
||||
!
|
||||
O 0 80.000 2.750 0.000 0.000 0.000
|
||||
O2 1 107.400 3.458 0.000 1.600 3.800
|
||||
O3 2 180.000 4.100 0.000 0.000 2.000
|
||||
OH 1 80.000 2.750 0.000 0.000 0.000
|
||||
S 0 847.000 3.839 0.000 0.000 0.000 !(OIS)
|
||||
S2 1 847.000 3.900 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
SH 1 847.000 3.900 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
SO 1 301.000 3.993 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
SO2 2 252.000 4.290 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
SO3 2 378.400 4.175 0.000 0.000 1.000 !(OIS)
|
||||
!
|
||||
! Additions for Silicon CVD
|
||||
!
|
||||
H2SiSiH2 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
H2SISIH2 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
H3SiSiH 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
H3SISIH 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si 0 3036. 2.910 0.000 0.000 0.000 !
|
||||
SI 0 3036. 2.910 0.000 0.000 0.000 !
|
||||
SiH 1 95.8 3.662 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SIH 1 95.8 3.662 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiH2 2 133.1 3.803 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SIH2 2 133.1 3.803 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiH3 2 170.3 3.943 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SIH3 2 170.3 3.943 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiH4 2 207.6 4.084 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SIH4 2 207.6 4.084 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2 1 3036. 3.280 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI2 1 3036. 3.280 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2H2 2 323.8 4.383 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI2H2 2 323.8 4.383 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2H3 2 318.2 4.494 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2H4 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI2H4 2 312.6 4.601 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2H5 2 306.9 4.717 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si2H6 2 301.3 4.828 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI2H6 2 301.3 4.828 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si3 2 3036. 3.550 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI3 2 3036. 3.550 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si3H8 2 331.2 5.562 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI3H8 2 331.2 5.562 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
! Germanium containing species
|
||||
!
|
||||
GeH4 2 207.6 4.084 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
GeH2 2 133.1 3.803 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
! Additions for III/V MOCVD
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
!!!!!! Arsenic containing species !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
As2 1 1045.5 5.507 0.000 0.000 1.000 !(hkm1/94)
|
||||
!
|
||||
As4 2 618.8 5.95 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
As 0 1045.5 4.580 0.000 0.000 0.000 !(
|
||||
AsH 1 199.3 4.167 0.000 0.000 1.000 !(hkm1/94)
|
||||
AsH2 2 229.6 4.156 0.000 0.000 1.000 !(hkm1/94)
|
||||
AsH3 2 259.8 4.145 0.000 0.000 1.000 !(Reid et al)
|
||||
!
|
||||
! Butylated compounds
|
||||
!
|
||||
AsH2(t-C4H9) 2 400.0 5.930 0.000 0.000 1.000 ! hkm 11/94
|
||||
! AsH2(t-C4H9) 2 389.5 6.04 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
! Ethylated compounds
|
||||
!
|
||||
AsH2Et 2 365.0 5.120 0.000 0.000 1.000 ! hkm 11/94
|
||||
AsHEt2 2 422.0 5.59 0.0 0.0 1.0 ! - interpolation
|
||||
AsEt3 2 487.0 6.05 0.000 0.000 1.000 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
! Methylated compounds
|
||||
!
|
||||
AsH2Me 2 408.0 4.73 0.000 0.000 1.000 ! - name change
|
||||
AsMe3 2 382.0 5.49 0.000 0.000 1.000 ! hkm 11/94
|
||||
AsHMe2 2 395.0 5.12 0.000 0.000 1.000 ! -lin interp
|
||||
!
|
||||
AsHMe 2 400.0 4.57 0.0 0.0 1.0 ! hkm - guestimate
|
||||
!
|
||||
AsMe2CH2 2 342.9 5.59 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
AsMe2 2 317.0 5.17 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AsMeCH2 2 336.7 5.09 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
AsMe 2 309.6 4.57 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AsCH2 2 335.0 4.47 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
!!!!!! Gallium containing species !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
Ga 0 2961.8 4.62 0.000 0.000 0.000 !
|
||||
GaH 1 417.8 4.194 0.000 0.000 1.000 !(hkm1/94)
|
||||
!
|
||||
! Methylated compounds
|
||||
!
|
||||
GaMe 2 972.7 4.92 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
GaMe2 2 675.8 5.22 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
GaMe3 2 378.2 5.52 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
GaMe2CH2 2 394.0 5.40 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
GaMeCH2 2 394.6 4.87 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
GaCH2 2 439.6 4.17 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
! Ethylated compounds
|
||||
!
|
||||
GaEt3 2 491.1 6.00 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
GaEt2 2 767.2 5.79 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
GaEt 2 1052. 5.21 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
! Chlorinated Compounds
|
||||
!
|
||||
GaEt2Cl 2 594. 5.94 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
! As Complex Compounds
|
||||
!
|
||||
GaAs 2 972.7 4.92 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!! Indium Containing species !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
In 0 2765. 4.94 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
! In 0 1217.95 3.988 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
! Methylated compounds
|
||||
!
|
||||
InMe3 2 480.4 5.40 0.0 0.0 1.0
|
||||
!
|
||||
! Ethylated compounds
|
||||
!
|
||||
InEt3 2 539.0 6.31 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
InEt2Me 2 519.0 6.00 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
InEtMe2 2 500.0 5.70 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!! Phosphorus containing species !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
PH3 2 251.5 3.981 0.0 0.0 1.0 !(Reid et al.)
|
||||
!
|
||||
! Butylated compounds
|
||||
!
|
||||
PH2(t-C4H9) 2 386. 5.82 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
! Methylated compounds
|
||||
!
|
||||
PMe3 2 367. 5.41 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
! Ethylated compounds
|
||||
!
|
||||
PEt3 2 474. 6.14 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!! Aluminium containing species !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
Al 0 3296. 4.62 0.0 0.0 1.0 ! hkm 5/94
|
||||
!Al 0 2750. 2.655 0.0 0.0 1.0 ! Svelha
|
||||
!
|
||||
! Methylated compounds
|
||||
!
|
||||
AlH3 2 580. 4.00 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AlH2Me 2 540. 4.40 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AlHMe2 2 504. 4.85 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
AlMe3 2 471. 5.30 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
AlMe2 2 766. 5.03 0.0 0.0 1.0 ! hkm 12/94
|
||||
AlMe 2 1246. 4.85 0.0 0.0 1.0 ! hkm 12/94
|
||||
!
|
||||
(AlMe3)2 2 471. 6.71 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
Al2Me6 2 471. 6.71 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
!
|
||||
! Ethylated compounds
|
||||
!
|
||||
AlEt3 2 551. 5.98 0.0 0.0 1.0 ! hkm 11/94
|
||||
AlHEt2 2 581. 5.30 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AlH2Et 2 600. 4.70 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
! Butylated compounds
|
||||
!
|
||||
AlH(i-C4H9)2 2 594. 6.59 0.0 0.0 1.0 ! hkm 1/94
|
||||
!
|
||||
! Alane Compounds
|
||||
!
|
||||
AlH3NMe3 2 450. 5.90 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
AlH3(NMe3)2 2 400. 6.50 0.0 0.0 1.0 !
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!! Nitrogen Compounds !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
NMe3 2 400. 5.00 0.0 0.0 1.0 ! guestimate
|
||||
!
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
! Local Additions for Silicon Nitride CVD
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
!
|
||||
SiF 1 585.0 3.318 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiF3 2 309.6 4.359 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiF3NH2 2 231.0 4.975 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiF4 2 171.9 4.880 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SiHF3 2 180.8 4.681 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
! Local Additions for chlorosilane species
|
||||
! ( Pauline Ho's work)
|
||||
!
|
||||
SiCl4 2 390.2 5.977 0.000 0.000 1.000
|
||||
SiCl3H 2 344.5 5.504 0.000 0.000 1.000
|
||||
SiCl2H2 2 298.8 5.031 0.000 0.000 1.000
|
||||
SiClH3 2 253.3 4.557 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
SiCl3 2 588. 5.230 0.000 0.000 1.000
|
||||
SiCl2 2 784. 4.490 0.000 0.000 1.000
|
||||
SiCl 1 980. 3.748 0.000 0.000 1.000
|
||||
HSiCl 2 458. 4.150 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! Local Additions for SiO2 CVD
|
||||
!
|
||||
C2H5OH 2 362.6 4.53 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
OSi(OC2H5)2 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
OSI(OC2H5)2 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
Si(OC2H5)4 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
SI(OC2H5)4 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
C2H5OC2H5 2 313.8 5.678 0.000 0.000 1.000 !
|
||||
!
|
||||
Si(OH)(OC2H5)3 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
Si(OH)2(OC2H5)2 2 522.7 6.35 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
Si(OH)3(OC2H5) 2 522.7 5.75 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
Si(OH)4 2 522.7 5.25 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
SI(OH)(OC2H5)3 2 522.7 7.03 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
SI(OH)2(OC2H5)2 2 522.7 6.35 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
SI(OH)3(OC2H5) 2 522.7 5.75 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
SI(OH)4 2 522.7 5.25 0.000 0.000 1.000 !(noest)
|
||||
!
|
||||
! Local Additions for Ethanol Combustion mechanism
|
||||
!
|
||||
! C4H10 is the same as S*C4H10 entry, above
|
||||
C4H10 2 330.100 5.278 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! C4H8CY - cyclo-butane same as previous C4H8 entry
|
||||
C4H8CY 2 357.000 5.176 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! CH2OH - this is the same entry as CH3OH
|
||||
CH2OH 2 481.800 3.626 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! Ethoxy radicals are the same as ethanol entries
|
||||
!
|
||||
CH3CH2O 2 362.6 4.53 0.000 0.000 1.000
|
||||
CH3CHOH 2 362.6 4.53 0.000 0.000 1.000
|
||||
CH2CH2OH 2 362.6 4.53 0.000 0.000 1.000
|
||||
!
|
||||
! CH2CHO - this is the same entry as acetaldehyde - CH3CHO
|
||||
!
|
||||
CH2CHO 2 436.000 3.970 0.000 0.000 2.000
|
||||
!
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
! END
|
||||
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
|
||||
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